一般而言，設(shè)備的照常運(yùn)行再正常不過(guò)了，只是任何東西都有出毛病的可能，真空等離子清洗機(jī)同樣如此，那若是它在使用過(guò)程中，出現(xiàn)了故障并響起報(bào)警鈴聲，我們應(yīng)該怎么排查問(wèn)題，解決問(wèn)題呢？

　　

　　今天我們將會(huì)在這里介紹真空等離子清洗機(jī)出現(xiàn)報(bào)警情況時(shí)可能的一些原因。

　　

　　出現(xiàn)警報(bào)聲可能的幾種原因

　　

　　一、真空泵過(guò)載保護(hù)

　　

　　當(dāng)真空等離子清洗機(jī)出現(xiàn)報(bào)警情況時(shí)，其中有一種可能就是真空泵過(guò)載保護(hù)，在發(fā)生此類(lèi)情況時(shí)，需要先檢查系統(tǒng)參數(shù)有沒(méi)有變化，因?yàn)樵谶@種情況下，設(shè)備會(huì)中止供電，系統(tǒng)的各參數(shù)會(huì)歸零，于是才會(huì)響起警報(bào)聲。

　　

　　如果經(jīng)過(guò)檢查后系統(tǒng)參數(shù)并沒(méi)有發(fā)生變化，就需要確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵后啟動(dòng)真空等離子處理系統(tǒng)的真空發(fā)生系統(tǒng)。如無(wú)自動(dòng)保護(hù)，就需要檢查電氣線路是否有斷路或短路情況。若是以上均無(wú)異常情況，就再檢查真空泵情況。

　　

　　二、顯示放空氣體壓力過(guò)低

　　

　　出現(xiàn)這種故障時(shí)，可能是氣體未開(kāi)啟或氣體已耗盡，需要檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無(wú)出現(xiàn)斷路或短路的現(xiàn)象。

　　

　　三、真空泵倒計(jì)時(shí)時(shí)間故障

　　

　　當(dāng)遇到此類(lèi)故障時(shí)需要先檢查真空泵抽真空能力，故障排除后再點(diǎn)擊復(fù)位鍵，出現(xiàn)滲氣或真空門(mén)未關(guān)到位都會(huì)影響真空泵抽真空能力。除了這些外還需要逐級(jí)檢查等離子真空處理系統(tǒng)中的各連接點(diǎn)，看是否有管道連接不良或損壞的情形。

　　

　　四、CDA壓力過(guò)低報(bào)警

　　

　　此報(bào)警也叫破空氣體壓力過(guò)低報(bào)警，是因?yàn)閴嚎s空氣的氣壓不足導(dǎo)致的，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動(dòng)擋板閥的等離子處理設(shè)備，出現(xiàn)此報(bào)警時(shí)需檢查CDA是否正常供氣到設(shè)備端。確認(rèn)供氣壓力有無(wú)過(guò)高或過(guò)低，還要看減壓表的報(bào)警值設(shè)定是否正確，處理這些之外還要再對(duì)電氣線路進(jìn)行檢查。

　　

　　五、真空計(jì)故障報(bào)警

　　

　　真空計(jì)故障報(bào)警的原因就是由于真空計(jì)損壞造成的，這時(shí)需要我們檢查真空計(jì)的控制線路是否有斷路和短路的情況。

　　

　　這些就是當(dāng)真空等離子清洗機(jī)出現(xiàn)報(bào)警情況時(shí)可能的一些原因了，出現(xiàn)故障并沒(méi)有那么可怕，更何況任何設(shè)備都有出現(xiàn)故障的可能，在這種情況下，我們只需要耐心起來(lái)，按照步驟逐級(jí)檢查，問(wèn)題很容易就會(huì)被解決。